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多弧离子镀膜机主要的功能技术指标?




多弧离子镀膜机主要的功能技术指标?多弧离子镀膜机是一种用于物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的工艺试验仪器,于2014年12月15日启用。
多弧离子镀膜机
用于金属、陶瓷、玻璃等材质表面镀制各种硬质金属膜、金属化合物膜及装饰膜。具有抽速快、真空稳定,装载量大、镀膜均匀性好的特点。

真空室尺寸:单室,ø1000*1000mm2;

有效镀膜空间:ø600*600mm2;

抽真空时间:<15min(室温空真空室从大气压抽到4.0*10-3Pa) ;

极限压力:3.0×10-4Pa; 

工作真空度:10~1.0×10-1Pa ;

偏压电源:输出功率30kw,最大输出电压0~1000V;

输出占空比调节范围:0~90%; 

总功率:70KVA,380~400v/220~240v,50~60HZ。 




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