真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

维护：
1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）
2、坩埚被打穿（更换坩埚）
3、预阀、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）
4、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）
5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）

二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼）
2、扩散泵很久未换油（应清冼换油）
3、前级泵反压强太大，机械泵真空度太低（应清冼换油）
4、各动密封胶圈损坏、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）
5、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）
6、高低预阀是否密封可靠（注油）

众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，因此这种镀膜的条件，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。

后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成严重的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。