硬质涂层设备-东莞市龙铮真空设备有限公司

硬质涂层设备

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　　硬质涂层领域
主要针对工件表面加硬处理，提高基材硬度，耐磨度，提高抗氧化，抗腐蚀等方面
主要是车削刀具的硬度和耐磨提高。
玻璃，陶瓷表面硬化和防刮花处理。
改变基材本身性质，置换出新型功能性材料。
对特殊用途用的产品提高抗氧化和耐腐蚀。
针对军工方面的需求研发。
一、真空室
1、真空室体内径Φ1000，内高H800，主体材料为SUS304不锈钢焊接，顶底板δ25mm，内围板δ10mm，水套板δ6mm，真空室采用水套冷却；
2、前开大切门，右手开门，前门置矩形观察窗170mm×82mm，带遮挡板；
3、内部转架两边安装加热器。安装于真空室内中间及四周；
4、真空室焊接水套冷却，底进顶出，真空室冷却采用直冷式水路循环；
5、采用下转架，底部引入传动机构与偏压输入端子；
7、于顶板后方置真空计预留口KF16×2个，用于安装真空规管；
8、于真空室顶板上安装热电偶，于高阀上方安装充气阀；
二、抽气机组
1、粗抽泵 2X-70旋片泵，2台
2、助力泵 RTO.600s罗茨泵，1台（罗茨泵出气口选用底部法兰口与粗抽泵连接）
3、分子泵 JTFB-3600，2台
4、维持泵 2X-70旋片泵，1台
5、粗抽管道与维持管道采用旁通阀联接
三、蒸发源配置
1、Φ100定向圆柱电弧靶二组（4套/组+4套/组，共8套）
2、气动引弧机构，辅助阳极自动补偿电压回路、自动保护过电流系统
3、电弧靶靶材面至工件面初始距离250mm，标配钛稳弧≤60A，
四、弧电源
1、高频逆变直流弧电源二组与蒸发源搭配，共8台。
2、引弧电压 60V～80V（可根据需求调整）
3、工作电压 20V～25V
4、工作电流 50A～200A（可调）
5、保护方式自动起弧、过载保护再起动
五、双级脉冲偏压电源
1、双级脉冲电源： 50KHZ
2、功率： 30KW
3、工作电压三档可调A档10V～200V； B档100V～800V
4、脉冲范围占空比10%～90%
六、真空测量
1、三合一复合真空计一组（复合压强控制仪）。
2、热偶计：量测大气～1.0×10-1Pa区段真空。与抽气系统搭配，作为抽气流程控制数据信号。
3、离子真空计：量测6.6×100Pa～1.0×10-4Pa区段真空，与抽气系统搭配做为抽气流程控制数据信号。
4、复合压强控制仪搭配进口高灵敏压电陶瓷阀，组成镀膜流程闭环自动控制系统。
七、全自动化控制
1、整机采用全自动控制，预设工艺菜单，可完成一键式抽气、镀膜、放气的连续流程。
2、采用三菱PLC控制，14英寸昆仑通泰大触摸屏。
3、控制柜安装元器件，基本采用和泉、欧姆龙、施耐德等国际品牌。
4、采用全自动化、工艺流程自动化、手动操作控制多模式流程。
八、升压率检测
1、升压率检测：炉体抽至极限真空，空载升压率为0.67Pa/H<按国标>
2、冷态空载24小时真空度≤6×10-4Pa。
九、场地
直列式安装长×宽×高 4m×3.8m×4m（不含预留空间与周边配置，选配标准方式安装时控制系统与主机分开装配。）