1、在正常情况下，我们维修真空镀膜机主要需要从真空漏气检测，真空仪表维修，拆卸，安装等方面来维修，我们，这些步骤一步一步检查下来，应该都能发现问题所在，当这些还不能解决你的机器故障的时候，我们需要关掉电源让机器休息下，在来工作，因为请专业人士来维修真空镀膜机也是从触摸屏维修、编程、程序解密、修改、改装真空镀膜设备及真空泵维修、真空热处理设备维修等几个方面着手！
　　2、当真空镀膜机（真空镀膜设备）粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。将泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
　　真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
　　真空镀膜设备中的扩散泵连续使用6个月以上，抽速就会明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。