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电弧离子镀膜机主要技术指标?




电弧离子镀膜机主要技术指标?全自动电弧离子镀膜机是一种用于机械工程领域的仪器,于2016年5月3日启用。用于各种新型多功能涂层的研发及小批量试制。 
电弧离子镀膜机
极限压强:优于5×10-4Pa; 

抽速:大气到5×10-3Pa抽气时间小于25分钟; 

升压率:≦0.4Pa/hr ;

可实现膜层类型: 氮化物(TiN、CrN、ALTiN) 含硅氮化物(ALCrSiN) 含氧氮化物(掺氧CrN、ZrBON)。



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