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东莞市龙铮真空设备有限公司

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卷绕镀膜
卷绕镀膜
详情说明 / Details

  设备规格
根据客户生产使用,可以定制单腔体卷绕镀机,或者定制多腔体连续生产线
实际案例
LZD600-300(限单机模式)
设备配置和参数

设备主要技术参数与配置
设备规格型号 D600-300 D600-300 D600-300 订制型号
镀膜室规格 L1200×W800×H1280 根据产品定制
可镀材料规格 根据产品定制      
中频圆柱靶(选配) 圆柱靶、平面靶 圆柱靶、平面靶 圆柱靶、平面靶    
直流磁控靶(选配) 圆柱靶、平面靶 圆柱靶、平面靶 圆柱靶、平面靶 协议配置    
机组配置 粗抽机组:机械泵*罗茨泵。两套高真空机组:维持泵*分子泵。 配置低温泵。 协议配置    
操作系统 PLC全自动控制系统(PLC支持Modbus RS485通讯协议和互联网IP直连远程控制)+手动控制      
适用产品范围 海绵泡沫镍、电子信号屏蔽器件、纤维布料、专用服装鞋帽类、过滤芯等工业制品 定制产品    
镀膜品种 按要求镀制功能性膜层,多种特定颜色膜层。 选定检测标准、颜色    

  一、真空室
1、真空室体内径Φ1000,内高H800,主体材料为SUS304不锈钢焊接,顶底板
δ25mm,内围板δ10mm,水套板δ6mm,真空室采用水套冷却;
2、前开大切门,右手开门,前门置矩形观察窗170mm×82mm,带遮挡板;
3、内部转架两边安装加热器。安装于真空室内中间及四周;
4、真空室焊接水套冷却,底进顶出,真空室冷却采用直冷式水路循环;
5、采用下转架,底部引入传动机构与偏压输入端子;
7、于顶板后方置真空计预留口KF16×2个,用于安装真空规管;
8、于真空室顶板上安装热电偶,于高阀上方安装充气阀;。
 二、抽气机组
1、粗抽泵 2X-70旋片泵,2台
2、助力泵 RTO.600s罗茨泵,1台
(罗茨泵出气口选用底部法兰口与粗抽泵连接)
3、分子泵 JTFB-3600,2台
4、维持泵 2X-70旋片泵,1台
5、粗抽管道与维持管道采用旁通阀联接
 三、蒸发源配置
1、Φ100定向圆柱电弧靶二组(4套/组+4套/组,共8套)
2、气动引弧机构,辅助阳极自动补偿电压回路、自动保护过电流系统
3、电弧靶靶材面至工件面初始距离250mm,标配钛稳弧≤60A,
 四、弧电源
1、高频逆变直流弧电源二组与蒸发源搭配,共8台。
2、引弧电压 60V~80V(可根据需求调整)
3、工作电压 20V~25V
4、工作电流 50A~200A(可调)
5、保护方式 自动起弧、过载保护再起动
 五、双级脉冲偏压电源
1、双级脉冲电源: 50KHZ
2、功率: 30KW
3、工作电压三档可调A档10V~200V; B档100V~800V
4、脉冲范围占空比10%~90%
 六、真空测量
1、三合一复合真空计一组(复合压强控制仪)。
2、热偶计:量测大气~1.0×10-1Pa区段真空。与抽气系统搭配,作为抽气流程控制数据信号。
3、离子真空计:量测6.6×100Pa~1.0×10-4Pa区段真空,与抽气系统搭配做为抽气流程控制数据信号。
4、复合压强控制仪搭配进口高灵敏压电陶瓷阀,组成镀膜流程闭环自动控制系统。
 七、全自动化控制
1,整机采用全自动控制,预设工艺菜单,可完成一键式抽气、镀膜、放气的连续
流程。
2,采用三菱PLC控制,14英寸昆仑通泰大触摸屏。
3,控制柜安装元器件,基本采用和泉、欧姆龙、施耐德等国际品牌。
4,采用全自动化、工艺流程自动化、手动操作控制多模式流程。
 八、升压率检测
1、升压率检测:炉体抽至极限真空,空载升压率为0.67Pa/H<按国标>
2、冷态空载24小时真空度≤6×10-4Pa。
 九、场地
直列式安装 长×宽×高 4m×3.8m×4m(不含预留空间与周边配置,选配标准方式安装时控制系统与主机分开装配。)