自动镀膜设备系统是真空镀膜设备的一大重要组成部分,可大大提高真空
自动镀膜设备的性能指标,常用的真空镀膜设备自动控制系统有计算机控制系统、继电器控制系统、可编程序控制系统、工业自动化调节仪或压力控制仪等类型。各种类型各有不同的特点,可分别适用不同工艺的真空镀膜设备的控制。
在确定真空镀膜机的控制系统的类型时,前提是可以有效地满足真空镀膜设备及其镀膜工艺对控制的需求,注重真空镀膜设备的各项构造和自动控制系统的配合程度,要求自动控制系统结构简单、经济,不一定要非常高度的自动化程度,但要保证真空镀膜设备的安全性、可靠性、操作方便、便于维修。控制系统选择自动控制装置及其元件、自动仪表要合理。
镀膜设备的有很多种类的自动控制系统,不同类型的控制系统能实现的控制目的也不一样,所以它们的设计方法也有所不同。
镀膜机控制
系统的设计通常是根据真空镀膜设备的技术指标、类型、现场条件、动作要求、传动参数以及工艺流程来进行的。该系统的设计包括了工艺设计和原理设计两方面。
1、工艺设计。工艺设计是为了实现原理设计的技术指标的目的,为控制系统的制造、调试、操作和后期的维护提供部件的布置及其接线设计图,以及使用说明书的编写等。
2、原理设计。根据不同的原理来选择控制方案,控制原理图的绘制以及计算说明书的编制等。
不同镀膜工艺的真空镀膜机,采用的自动控制系统也不一样,而就算是同一镀膜工艺的真空镀膜机,也会因为不同的控制技术指标,而采用不同的控制系统。一般镀膜设备自动控制系统的基本组成是微型计算机、自动控制装置、工业自动化仪表、压力控制仪、真空计和一些自动控制元件等,可实现真空镀膜设备的程序自动控制、切换镀膜工艺的流程、调节真空工艺参数等基本功能。