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真空镀膜机的制作方法及使用步骤

信息来源于:互联网 发布于:2021-06-15

在真空环境中,将材料加热并镀到基片上的技术为真空镀膜机,具体而言,真空镀膜机是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程,真空蒸镀中的镀层通常为铝膜,但其它镀层也可通过蒸发沉积形成,然而,现有的镀膜机结构较为复杂且成本较高,无法充分适应工业化生产的需求,不利于降低镀膜产品的成本。
真空镀膜机
提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。

蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。

有益效果是:生产效率高、有利于降低镀膜产品的成本。

使用步骤:

电控柜操作

1. 开水泵、气源。
2. 开总电源。
3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
4. 开机械泵、预抽,开涡轮分子泵电源、并启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关预抽,开前级泵和高真空阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。

DEF-6B操作

1. 总电源。
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。
3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。

关机顺序

1. 关高真空表头、关分子泵。
2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。
3. 到50以下时,再关维持泵。