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4常见问题
您的位置: 首页 ->  常见问题 -> 真空镀膜机束流高压没指示?
  在正常工作时,主开关电路中的管压降保持在100V左右,开关管处于饱和导通状态,高压指示6kV(或10kV),栅极得到正偏压50V。从检测电路R21上得到的电压控制信号不足以使D13稳压管击穿导通,BG14、BG15、BG16处于截止状态,而BG11、BG12、BG13处于导通状态,由BG11输出一个2.5V左右的高电位。
  在不正常情况下,增加束流时,由于束斑的位置不在中心,电子束可能会打到坩埚的边缘,或者束斑的位置在中心,但蒸镀的材料被打穿等原因,都会出现高压无指示。这是由于高压输出被近似短路,造成电子束流大于预定值,主开关管处于截止状态,承受全部高压,使得高压无输出。由于打火而造成过大的束流,在电流检测电路R21取得的过流信号,使得D13稳压管被击穿导通,BG14、BG15、BG16处于导通状态,C13通过BG14、R51放电,使得BG11、BG12、BG13很快截止,BG11输出为0V。栅压切换电路上的BG10得到0V的输入信号而截止,BG9立刻导通,550V正端通过BG9接到主开关管的阴极,负端通过D5管接到主开关管的栅极,主开关管得到-550V偏压而进入深度截止,此时高压就没有指示了。
  只要不超过真空镀膜机器的耐压极限就没有问题,不过镀膜的时候比较忌讳束流变化,那样影响膜层的均匀和最终效果。根据材料不同速率也不同,比如氟化镁40ma就够了,二氧化硅就要100ma以上,氧化锆200ma左右,所以不能说大小就好,也要根据材料确定电流。
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